スパッタリングにより堆積した(La, Y)2O3膜を用いた積層型CO2センサの湿潤雰囲気下でのCO2応答

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19am3-PS3-43

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): CO2 gas response in humid air of stacked device using (La, Y)2O3 thin film deposited by sputtering

著者名: 大野 賢(豊橋技術科学大学), 岩田 達哉(富山県立大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学)

要約(日本語): 本研究では、(La, Y)2O3/SnO2積層構造のCO2センサにおいて、湿潤雰囲気下でのCO2応答について考察した。基板上にPt/Ti電極を形成し,SnO2を堆積し、さらに(La, Y)2O3をスパッタリングによって積層した。スパッタリングを用いて(La, Y)2O3を成膜することにより湿潤雰囲気下でもCO2応答を得られた。これは、(La, Y)2O3膜でSnO2を覆うことでSnO2への水吸着が抑制された事によるものだと考えられる。

要約(英語): This paper addresses CO2 sensing properties of (La, Y)2O3/SnO2 stacked device in humid air. (La, Y)2O3 film was deposited by sputtering on a 100-nm-thick SnO2 layer with Pt/Ti inter-digitated electrodes. By using the sputtered film, we successfully obtained a significant CO2 response in humid air. These results may originate from the suppression of water adsorption on SnO2 due to the dense structure of the sputtered (La, Y)2O3 layer covering the SnO2 layer.

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