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ガス拡散を用いた二次元化学センサ応答の較正

ガス拡散を用いた二次元化学センサ応答の較正

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 19am3-PS3-45

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): A calibration technique for 2 dimensional gas sensor

著者名: 瀬政 康平, 佐々 文洋, 林 健司(九州大学)

要約(日本語): 本研究では,パターン形成フローチャンバー内での拡散による濃度勾配を利用して,単一の濃度のガスサンプルから単純な方法で複数ガスを同時に較正する手法を開発した.この技術は,多サンプル同時検出を行い,様々なガス,様々な濃度で同時に較正を行うことができる.これにより二次元化学センサにおける較正にかかる時間を大幅に削減することができる.

要約(英語): We developed a simultaneous parallel calibration method for two-dimensional chemical sensor by using gas diffusion in patterned flow chamber. Multi sample gas detection and parallel calibration with different gas concentration can be carried out with this method. As a result, calibration time for two-dimensional chemical sensor can be reduced.

PDFファイルサイズ: 1,068 Kバイト

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