白金微粒子を坦持した酸化チタンナノチューブ薄膜を用いた 高感度ガスセンサの一酸化炭素応答特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19am3-PS3-51

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Response characteristics for carbon monoxide of a highly sensitive gas sensor based on titanium dioxide nanotube with platinum fine particles

著者名: 阿部 宏之(宮城県産業技術総合センター), 馬 騰(東北大学), 但木 大介(東北大学), 平野 愛弓(東北大学), 木村 康男(東京工科大学), 庭野 道夫(東北福祉大学)

要約(日本語): 酸化チタンナノチューブ薄膜を用いたガスセンサの応答特性を向上するため,原子層堆積法を用いてナノチューブ薄膜に白金微粒子を坦持した。白金粒子を坦持したガスセンサでは,坦持なしのセンサと比較して,応答時間が短縮し,感度を大幅に向上することを示した。

要約(英語): In order to improve the response characteristics of the gas sensor with the titanium oxide nanotube thin film, we decorated the nanotube thin film with platinum fine particles using an atomic layer deposition technique. We confirmed that platinum particle decoration reduces the response time and significantly increases the sensitivity as compared to the sensor without platinum decoration.

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