Pt 超薄膜型水素センサの電流駆動方式の最適化による外乱影響低減

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19am3-PS3-53

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Improvement of environmental resistance by optimizing the current drive method of Pt ultra-thin film hydrogen sensor

著者名: 合田 悠斗(岡山大学), 小部 寛斗(岡山大学), 堺 健司(岡山大学), 紀和 利彦(岡山大学), 近藤 健二(リコー電子デバイス), 高橋 琢哉(リコー電子デバイス), 上田 尚宏(リコー電子デバイス), 塚田 啓二(岡山大学)

要約(日本語): 本研究では,Pt超薄膜型水素センサの電流駆動方式の最適化による外乱の影響の低減を行った.センサの実用化に当たり重要な項目として雰囲気による外乱の影響を受けない安定動作の確保が求められる.特に風によるセンサ感応部の温度変化に伴う出力変動は誤作動の原因にもなりうる.低電流(1 mA)で駆動することによりセンサ周辺の流速が変化した場合でも安定した出力が得られた.また,十分なセンサ感度も確保できた.

要約(英語): In this study, environmental resistance is improved by optimizing the current drive method of Pt ultra-thin film hydrogen sensor. Sensor output is stable even if the wind speed around the sensor changed by driving at the low current (1 mA). In addition, the sensitivity is sufficient under low current drive.

PDFファイルサイズ: 602 Kバイト