機械的変形可能な 3D キラル THz メタマテリアル

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19pm2-T-2

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Mechanically Deformable 3D Chiral The Metamaterial

著者名: 小菅 拓也, 菅 哲朗(電気通信大学)

要約(日本語): 本論文は直径150μmの平面らせん構造であるMEMSキラルメタマテリアルの中心を引っ張り上げることで、変形を起こす駆動方法について報告する。THz領域で動的に偏光制御を行う素子の開発を目指す。提案法ではらせん構造の中心を高分子ポリマーであるパリレンを用いて、他の基板に選択的に接合を行い、らせん構造をなす基板と引張上げるための基板の距離を離すことにより、意図しない力を介在させず、変形量の制御を行うことができる。

要約(英語): This paper reports an actuation method of MEMS chiral metamaterial that transforms two-dimensional MEMS spiral with diameter 150 μm to a three-dimensional spiral by individually pulling the center of spirals. MEMS spirals were manufactured by bonding the central part of spirals and Si wafer with Parylene bonding, and were deformed by lifting the Si wafer.

PDFファイルサイズ: 3,220 Kバイト