シリコン型SPRセンサへの効率的な近赤外光導入のためのモスアイ構造

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19pm2-T-4

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Moth eye structure for efficient near infrared light interaction to silicon based SPR sensor

著者名: 榎 隆宏, 齋藤 祥基, 菅 哲朗(電気通信大学)

要約(日本語): 本論文では、Si型のSPRセンサが近赤外領域で機能するモスアイ構造を報告する。提案する構造は、反射を防止し、伝搬方向を乱すことなく透過率を高める。Si 型の SPR センサへの展開を前提に、ピラー型モスアイ構造を Si 上に製作した。ピラー型モスアイ構造は、Si内部の回折を抑制し、反射を抑制します。実験結果より、提案するモスアイ構造がSi基板のSPRセンサに適していることが示された。したがって、今後のセンサ高感度化において有用な結果であ

要約(英語): This paper report a moth eye structure for a Si based SPR sensor to function in the near infrared region, which prevents reflection and increases the transmittance without disturbing the propagation direction. It will be a useful result for increasing the sensitivity of SPR sensors.

PDFファイルサイズ: 1,246 Kバイト