モノリシック高電圧駆動回路集積CMOS-MEMS電気浸透流マイクロポンプ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19pm3-T-3

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): CMOS-MEMS Electroosmotic Micropump Monolithically Integrated with High Voltage Generator

著者名: 岡本 有貴(東京大学), 良尊 弘幸(東京工業大学), 藤本 興治(東京工業大学), 大場 隆之(東京工業大学), 三田 吉郎(東京大学)

要約(日本語): 本研究では、低電圧電源の利用のみで動作させられる、高電圧生成回路集積オンチップCMOS-MEMS電気浸透流マイクロポンプを提案する。高電圧生成回路は、標準CMOSプロセスとMEMS後加工を利用して作製した。提案した手法により、実際に49.8V生成可能な回路を集積した電気浸透流マイクロポンプを作製し、最大で流速137 μm/s、流量164 nL/minを得ることに成功した。

要約(英語): A novel on-chip electroosmotic (EOF) micropump integrated with a high-voltage (HV) generator is proposed. The HV generator is fabricated by standard CMOS technology and MEMS post-process. The micropump was successfully operated by the integrated HV generator. The maximum flow velocity was 137 μm/s and the flow rate of the EOF micropump driven was 164 nL/min when driven by the integrated 49.8 V generator.

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