エネルギー回収効率92%のMEMS振動エナジーハーベスタ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19pm3-T-4

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): An Electrostatic Vibrational MEMS Energy Harvester of Large Power Recovery Effectiveness over 92%

著者名: 三屋 裕幸(鷺宮製作所), 芦澤 久幸(鷺宮製作所), 本間 浩章(東京大学), 橋口 原(静岡大学), 年吉 洋(東京大学)

要約(日本語): 本研究では、エネルギー出力理論値に対する実験値の回収効率が約92%のMEMS振動エナジーハーベスタを開発した。共振時の振幅上限を考慮した設計理論に基づき、アスペクト比40の櫛歯電極間に400Vの電位差を発生するエレクトレット技術構築と、エアダンピングによる損失の少ない真空パッケージ技術構築により実現した。

要約(英語): The power-recovery effectiveness of our MEMS vibrational energy harvester has been improved to 92% of the theoretical limit by increasing the mechanical Q-factor through vacuum packaging and by enhancing the mechano-electric power conversion through a high-density electret.

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