ソフトマイクロアクチュエータを目指すP(VDF-TrFE)圧電薄膜加工
ソフトマイクロアクチュエータを目指すP(VDF-TrFE)圧電薄膜加工
カテゴリ: 部門大会
論文No: 19pm5-PS3-16
グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2019/11/12
タイトル(英語): Fabrication method of P(VDF-TrFE) thin film for soft micro actuator
著者名: 山口 龍太郎(東京大学), 宇佐美 尚人(東京大学), 松下 裕司(大阪府立大学), 吉村 武(大阪府立大学), 肥後 昭男(東京大学), 三田 吉郎(東京大学)
要約(日本語): P(VDF-TrFE)は最適なアニーリングを行うことで、高い圧電性を示す強誘電体となる。その圧電性はPZTには劣るものの、柔軟で重金属を含まず反応性の低い性質は生体分野や医療用途には最適である。本論文はP(VDF-TrFE)を金電極とともにポリイミド薄膜上に成膜する手法を提案する。
要約(英語): Through proper annealing process, P(VDF-TrFE) possesses the high ferroelectric and piezoelectric properties. Although the piezoelectric constant of P(VDF-TrFE) is lower than that of PZT, its soft, non-reactive and no heavy metal characteristics have an advantage for usage for a actuator in biometric and medical field. This paper presents the fabrication method of integrating the P(VDF-TrFE) thin layer with upper and lower Au electrodes on top of the soft polyimide board.
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