集積圧電アクチュエータによる自己変形を利用した可変焦点大面積MEMS光スキャナ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19pm5-PS3-24

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Large Aperture Varifocal MEMS Scanner Using Self-Deformation of Integrated Piezoelectric Actuator

著者名: 稲垣 俊典, 岡本 有貴, 肥後 昭男, 三田 吉郎(東京大学)

PDFファイルサイズ: 1,187 Kバイト