海水中におけるIS-FETイオンセンサのヒステリシス特性の原因調査と抑制方法

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19pm5-PS3-56

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Inverstigation and suppression of hysteresis characteristics of IS-FET ion sensor in seawater

著者名: 大西 浩輝(九州工業大学), Sethavut Duangchang(キングモンクット工科大学), 野口 科端稀(九州工業大学), 佐々木 翼(九州工業大学), 馬場 昭好(九州工業大学)

要約(日本語): IS-FETが海水中で動作したときに発生するヒステリシス特性の原因調査および抑制方法の検証を行った.各種溶液のヒステリシス特性の比較によってNa,Mg,Caイオンがヒステリシス特性を引き起こすことを明らかにした.ヒステリシス特性はゲート印加電圧を3Vから2Vに下げることで改善することができた.

要約(英語): We investigate the cause of the hysteresis characteristics that occur when the IS-FET operated in sea water and verify its suppression method. By comparing the hysteresis characteristics of various solutions, it was clarified that Na, Mg and Ca ions cause hysteresis characteristics. Hysteresis characteristics could be improved by reducing the maximum voltage applied to the 3V to 2V.

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