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結晶Se薄膜マイクロフォトダイオードを用いたフィルム型フレキシブル光センサの作製とその応用

結晶Se薄膜マイクロフォトダイオードを用いたフィルム型フレキシブル光センサの作製とその応用

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 19pm5-PS3-8

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Se/Ga2O3 micro photodiode on flexible film for visible light sensing

著者名: 足立 悠輔, 小林 大造(立命館大学)

要約(日本語): 本稿では、透明ポリイミドフィルム上に結晶Se薄膜フォトダイオードアレイと柔軟なカラーフィルタを組み合わせたフレキシブル光センサについて報告する。当日はフレキシブルフィルム上での結晶Se薄膜マイクロフォトダイオードのパターニングプロセスの開発、フレキシブルカラーフィルタの作製、および作製したフレキシブル光センサの性能評価について発表する。

要約(英語): In this paper, we report a flexible optical sensor by combination of a selenium thin film photodiode array and flexible color filters on a transparent polyimide film. We will present the patterning process of selenium thin film micro photodiodes, fabrication process of the flexible color filters and device characterization of fabricated sensors.

PDFファイルサイズ: 1,973 Kバイト

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