MEMS光干渉型表面応力バイオセンサの検出下限評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am1-T-3

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Evaluation of detection limit of MEMS optical interferometric surface-stress biosensor

著者名: 崔 容俊, 丸山 智史, 瀧 美樹, 澤田 和明, 高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

要約(日本語): 本稿ではPMMA/Parylene-C構造のMEMS光干渉型表面応力センサの作製・評価を行った。光干渉センサはマイクロキャビティ構造を有する自立型可動膜上への特定分子の検出を向けた一連の分子修飾課程を示す。光干渉センサの変位検出下限は以前報告されたカンチレバー型のセンサより11.7倍高い感度を示した。HSA抗原の濃度依存性は1 fg /mlであり,タンパク質に対する検出下限はカンチレバーセンサより2×10^5倍の高い感度が得られた。

要約(英語): We proposed a MEMS optical interferometric surface-stress biosensor of polymethyl methacrylate / Parylene-C nanosheet structure. The correlation between the spectrum and the current change was obtained by the membrane deformation due to the antigen-antibody reaction. The displacement detection limit calculated from the SNR of the current value is 42.6 pm. Also, the detection of human serum albumin antigen at a concentration of 1 fg/mL was achieved.

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