高感度・高ダイナミックレンジを実現する集積化ハイブリッドMEMS水素センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am1-T-4

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Integrated hybrid MEMS hydrogen sensor with high sensitivity and high dynamic range

著者名: 林 裕美, 山﨑 宏明, 増西 桂, 小野 大騎, 齋藤 友博, 中村 直文, 小島 章弘(東芝)

要約(日本語): ppmオーダーから100 vol%まで検出可能な集積化ハイブリッドMEMS水素センサを提案する。本センサは1chip上に容量型MEMS水素センサと熱伝導型MEMS水素センサを集積している。容量型は高感度化施策により水素5ppmを検知した。熱伝導型は低消費電力化施策により数十mWで高濃度水素を計測した。容量型は高いガス選択性能を示した。2つのセンサを集積化することで、全水素濃度領域において他ガスの干渉を回避することができる。

要約(英語): We proposed the integrated hybrid MEMS hydrogen sensor. The sensor had capacitive and thermal conductivity hydrogen sensors in a chip and detect hydrogen in the range of 5 ppm to 100 vol% with low power consumption. The sensor showed a high gas selectivity.

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