Sputter Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Thin Film on Si for High-performance Piezoelectric MEMS Actuator

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-LN2-75

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Sputter Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Thin Film on Si for High-performance Piezoelectric MEMS Actuator

著者名: Qi Xuanmeng, 吉田 慎哉, 田中 秀治(東北大学)

PDFファイルサイズ: 356 Kバイト