PNダイオード温度センサを集積化した Tuning Fork型MEMS共振器の周波数安定性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-LN2-79

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Frequency-stable tuning fork MEMS resonator integrated with a p-n diode temperature sensor

著者名: 川上 航輝, 谷川 紘, 古塚 岐, 鈴木 健一郎(立命館大学)

PDFファイルサイズ: 326 Kバイト