永久レジストによりviaを保護したMEMS移相器をもつ 準ミリ波帯シリコンハイブリッドフェイズドアレイアンテナの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-LN2-87

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Quasi-millimeter silicon hybrid antenna with a MEMS phase-shifter protected by permanent resist

著者名: 山本 崇広(立命館大学), 古塚 岐(立命館大学), 柴田 大介(2), 柴﨑 陽子(太陽インキ製造), 宮部 英和(太陽インキ製造), 鈴木 健一郎(立命館大学)

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