PZT thin film actuator with integrated buried piezoresistive sensors for high precision and stability

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-LN2-91

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): PZT thin film actuator with integrated buried piezoresistive sensors for high precision and stability

著者名: Vergara Andrea(東北大学), 塚本 貴城(東北大学), Fang Weileun(National Tsing Hua University), 田中 秀治(東北大学)

PDFファイルサイズ: 450 Kバイト