パリレンコートによる常温真空封止を用いたCMOS-MEMS圧力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-LN2-93

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): CMOS-MEMS Pressure Sensors using Room Temperature Vacuum Sealing by Parylene Coating

著者名: 野口 駿太, 小松 聡(東京電機大学)

PDFファイルサイズ: 402 Kバイト