小型・低コスト構造の非腐食性液体用ピエゾ抵抗型圧力センサー

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-LN2-95

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Compact and low cost piezoresistive pressure sensor for non-corrosive liquid

著者名: 西田 将志(愛知時計電機), 伊藤 秀文(愛知時計電機), 五明 智夫(愛知時計電機), 田畑 修(京都先端科学大学)

PDFファイルサイズ: 421 Kバイト