MEMS振動発電素子の浮遊容量削減法の検証

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-PS3-15

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Method verification of reducing parasitic capacitance for MEMS vibration energy harvester

著者名: 池野 翔, 本間 浩章, 遠山 幸也, 年吉 洋(東京大学)

PDFファイルサイズ: 977 Kバイト