架橋成長Siナノワイヤの熱電特性評価に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-PS3-21

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Characterization of thermoelectric properties of bridged-grown Si nanowire

著者名: 北川 諒, 岸本 卓巳, 小國 凌, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正(神戸大学)

要約(日本語): 本報告では,VLS法と触媒となる金ナノ粒子の配置を用いたシリコンナノワイヤ(SiNWs)のマイクロトレンチ内での架橋成長と,これに合わせて開発した,マイクロヒーターおよび温度センサ構造と一体とした熱電特性評価デバイスでの架橋SiNWsの電気的特性と熱起電力の評価を報告する。

要約(英語): In this research, a technique of bridging growth of silicon nanowires in micro trenches using vapor-liquid-solid (VLS) method was studied and thermometric voltage of the bridged silicon nanowires was evaluated using a newly-developed device with integrated micro heater and temperature sensors.

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