マイクロモジュラーロボットに向けたサブミリメートルスケール静電着脱機構の検証

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-PS3-25

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Proposal of submillimeter-scale electrostatic touch-detouch actuator towards micro modular robots

著者名: 三角 啓(東京大学), 宇佐美 尚人(東京大学), 肥後 昭男(東京大学), Piranda Benoit(ブルゴーニュ-フランシュコムテ大学), Bourgeois Julien(ブルゴーニュ-フランシュコムテ大学), 三田 吉郎(東京大学)

要約(日本語): 本研究ではサブミリメートルスケールで実現されるマイクロモジュラーロボットに向けた、静電着脱機構の検証を行った。本研究で提案される静電着脱機構は、2つの櫛歯型電極からなるアクティブ電極に電圧を印加することで、孤立した方形のパッシブ電極を吸着するものである。実際に、ガラス基板上にアルミ電極をパターニングし、パリレンをコーティングしたものを用いて、吊り下げ試験によって吸着能力の検証を行った。

要約(英語): We report electrostatic touch detouch actuator for submillimeter scale micro modular robots. Proposed electrostatic actuator is composed of voltage applied active electrodes and passive isolated electrode. The electrodes has Al wiring and parylene C coating. We demonstrated the touch detouch functions by suspended passive electrodes chips by an active electrodes chip.

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