Pt-WO3膜とSiマイクロリング共振器を用いた水素ガスセンサー

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-PS3-47

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Pt-WO3/Si Microring Resonator Based Hydrogen Gas Sensor

著者名: 松浦 壮佑, 山作 直貴, 西島 喜明, 岡崎 慎司, 荒川 太郎(横浜国立大学)

要約(日本語): 光学式水素ガスセンサの超小型・軽量化,低コスト化を目指し,Pt/WO3薄膜とSi MRRを組み合わせた水素ガスセンサを提案し,その設計と動作実証を行ってきた.今までの動作実証の検討の中で更なる応答感度改善の余地がみられたため、理論検討を行った。本論文では、WO3製膜プロセスの改善,上部SiO2層薄膜化に関する検討を述べ、更なる高感度化への可能性を示した.

要約(英語): Compact and highly-sensitive optical hydrogen gas sensor based on the combination of a Pt/WO3 thin film and a silicon microring resonator (MRR) is proposed and its sensing characteristics are experimentally demonstrated. To observe clear shifts in resonant wavelength of the MRR, the thickness of a SiO2 upper cladding layer was designed. In this paper, we will report on the response characteristics and improvement of response characteristics of the sensor based on the results so far.

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