面内圧縮塑性変形スパッタ法によるパラジウム薄膜の水素吸蔵特性の向上

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-PS3-51

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Improvement of hydrogen storage characteristics with respect to palladium thin films by in-plane compressive plastic deformation sputter method

著者名: 高橋 眞揮, 高橋 友博, 石井 祐樹, 増本 憲泰, 加藤 史仁(日本工業大学)

要約(日本語): 近年,水素エネルギが注目されており,燃料電池インフラ等の開発が進められている.水素は,爆発化限界が低く,爆発濃度範囲が広い.そのため,低濃度の水素を検出可能な高感度センサが求められている.本研究では,水素吸蔵特性を有するPdに着目し,Pd薄膜に面内方向の圧縮力を印加することで塑性変形させ,水素吸蔵特性を向上させた.面内圧縮塑性変形Pd薄膜を水晶振動子へ成膜し,無線駆動水素センサとしての性能を評価した.

要約(英語): In this study, we focused on Pd which has hydrogen storage property, and applied the compressive force in the in-plane direction to the Pd thin film to improve the hydrogen storage property. An in-plane compression plastically deformed Pd thin film was formed on the quartz oscillator to demonstrate its performance as the wirelessly driven hydrogen sensor.

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