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深さ方向成分分析に対応した非接触型水晶発振回路式複素容量センサの開発

深さ方向成分分析に対応した非接触型水晶発振回路式複素容量センサの開発

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 20am2-PS3-55

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Development of a contactless quartz oscillator based complex capacitive sensor suitable for measuring component in depth direction

著者名: 灰野 貴晶, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆(新潟大学)

PDFファイルサイズ: 2,734 Kバイト

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