単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm2-B-3

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Single-Crystal Lithium Niobate Piezoelectric Disk Gyroscope

著者名: 帯谷 和敬(京都大学), 土屋 智由(京都大学), 荒屋 和貴(多摩川精機), 谷内 雅紀(多摩川モバイル電装)

要約(日本語): MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した。弾性特性,圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワイングラス振動を実現するため,ウエハの結晶方位を最適化し,独自の電極配置を採用した。作製した直径25.8 mm,共振周波数約95 kHzのディスクで角速度出力を確認した。

要約(英語): A mode-matched single-crystal lithium niobate disk gyroscope has been proposed and fabricated to realize a tactical grade MEMS gyroscope. To mitigate its anisotropy and achieve mode-matching in two wine-glass modes, we optimized wafer orientation and electrode design. Rate output from the fabricated disk was measured successfully.

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