MEMS ピエゾ抵抗型カンチレバーを用いた高感度脈波センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm2-B-6

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): HIGHLY SENSITIVE PULSE WAVE SENSOR USING A PIEZORESISTIVE CANTILEVER

著者名: Nguyen Thanh-Vinh(産業技術総合研究所), 水木 佑哉(東京大学), 高畑 智之(東京大学), 下山 勲(富山県立大学)

要約(日本語): 本研究では、MEMS力センサを用いた高感度脈波センサを実現した。提案したセンサはピエゾ抵抗型カンチレバーと薄い膜で覆われる空気チャンパーから構築された。センサを血管の上に置くと、脈波による皮膚の振動が薄い膜を変形させ、チャンバー内の圧力変化を起こす。この圧力変化はピエゾ抵抗型カンチレバーで高感度に計測できるため、脈波を正確に計測できる。複数点での脈波を計測することで脈波伝播速度を求めることが可能である。

要約(英語): This paper reports a sensor that can measure blood pulse waves with high sensitivity. The sensor has a piezoresistive cantilever which is designed to measure the pressure change of an air chamber covered with a thin membrane. Since the cantilever is highly sensitive to differential pressure, it can measure the pulse waves by only placing the sensor on the skin.

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