差動回路を用いた500 kHz静電型MEMS発振器の特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-LN2-86

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Evaluation on a 500 kHz electrostatic MEMS oscillator using a differential circuit

著者名: 石橋 興(立命館大学), 古塚 岐(立命館大学), 鈴木 健一郎(立命館大学)

PDFファイルサイズ: 483 Kバイト