静電型マイクロ振動子トランスデューサを用いたシリコン近赤外光強度センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-LN2-92

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Silicon Near Infrared intensity sensor using electrostatics micro resonator transducer

著者名: 中藤 康太(神戸大学), 上杉 晃生(神戸大学), 菅野 公二(神戸大学), 磯野 吉正(神戸大学)

PDFファイルサイズ: 1,136 Kバイト