Vibration Mode Study of Buckled Diaphragm Structures for Piezoelectric Ultrasonic Microsensors

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-LN2-94

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Vibration Mode Study of Buckled Diaphragm Structures for Piezoelectric Ultrasonic Microsensors

著者名: Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology), Tomoki Nishioka(Kyoto Institute of Technology), Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology), Paul Muralt(Swiss Federal Institute of Technology in Lausanne)

PDFファイルサイズ: 5,130 Kバイト