触覚ディスプレイ用のNi厚膜バイアスばね/SU-8マイクロ機構の一括形成および剛性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS3-12

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Batch fabrication of arrayed Ni thin film bias spring with SU-8 micro structure and stiffness characterization for tactile display device

著者名: 辻 一樹(山形大学), 徐 嘉楽(山形大学), 丸山 顕(山形大学), 阿部 喜(東海理化), 清水 智巨(東海理化), 長谷川 博康(東海理化), 峯田 貴(山形大学)

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