AlおよびNi薄膜の熱処理による塑性変形を用いた MEMSカンチレバーのたわみ調整法

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS3-14

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Deflection control method using plastic deformation of Al and Ni thin film in thermal annealing process

著者名: 飯島 陽太, 増田 雄介, 田中 勝, 峯田 貴(山形大学)

要約(日本語): MEMSカンチレバーの初期たわみを制御するために150~400℃の熱処理により金属薄膜の応力を繰り返し微調整する手法を考案した。スパッタAl膜では熱膨張差によって加熱時に圧縮応力が緩和することで冷却後の引張応力の微調整が可能であり、スパッタNi膜では配向および結晶化による膜収縮により調整可能であることがわかり、いずれも最終的な膜応力は、到達温度と加熱時間により調整可能であることを見出した。

要約(英語): We developed a method to control MEMS cantilever deflection using plastic deformation of Al and Ni thin films by thermal annealing. In Al sputtered film, the final film stress could be reversibly controlled by plastic relaxation of the film stress. In Ni film, film stress was controlled due to the crystallization and orientation. The final cantilever deflection can be controlled by the annealing temperature and time.

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