PDMSダイアフラム上へのマッシュルーム型ナノピラーアレイの形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS3-22

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Fabrication of mushroom-shaped nano-pillar array on a PDMS diaphragm

著者名: 村上 雄志, 三井 秀之, 佐藤 翼, 峯田 貴(山形大学)

要約(日本語): 表面が微細な凹凸と平坦に切り替わるPDMSデバイスのダイアフラム表面の撥水性の向上を目指して、PDMSダイアフラム上へのマッシュルーム型ナノピラー(高さ200 nm、幅400 nm)の形成手法を確立した。EBレジスト孔パターン下の犠牲層をサイドエッチングしてマッシュルーム型モールドパターンを形成した。ナノモールドへのPDMS埋め込み硬化条件を最適化した後、モールドから剥離してマッシュルーム型ナノピラーアレイの良好な形成を可能にした。

要約(英語): To create a hydrophobic surface of deformable PDMS diaphragm, fabrication process of mushroom-shape PDMS nano-pillar array (200nm H,400nm W) on a thin PDMS diaphragm was developed. A mushroom-shape nano-mold pattern was fabricated by side-etching of an sacrificial Si layer under the EB resist hole pattern. After the PDMS was completely refilled with optimized refilling, hardening, and releasing processes, mushroom-shape nano-pillar array was successfully formed.

PDFファイルサイズ: 465 Kバイト