マルチTSV構造電流端子を有するMEMSロゴスキーコイル

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS3-40

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): MEMS Rogowski Coil with multi-TSV Current Terminal

著者名: 渡部 善幸(山形県工業技術センター), 加藤 睦人(山形県工業技術センター), 矢作 徹(山形県工業技術センター), 村山 裕紀(山形県工業技術センター), 九里 伸治(新電元工業), 吉田 賢一(新電元工業), 指田 和之(新電元工業), 新井 大輔(新電元工業), 池田 克弥(新電元工業), 池田 康亮(新電元工業), 竹森 俊之(新電元工業)

要約(日本語): パワーデバイスの過電流検知を目的に、マルチTSV構造電流端子を有するMEMSロゴスキーコイル型電流センサを開発した。デバイス外形は10×10×0.3mm3で、直径100μm、深さ300μmのTSVを有する電流検知コイル、および11×11個のTSVを有する電流端子で構成されている。比抵抗> 10,000 Ωcmのシリコンを用いたデバイスでTSV電流端子に通電したところ、安定した電流検知を実現した。

要約(英語): We have fabricated an MEMS Rogowski coil current sensor with multi-TSV current terminal, for overcurrent detection in power devices (device size 10×10×0.3mm3). This device has a 137 turns spiral current sensing coil ( via diameter 100μm) and a vertical current terminal with multi-TSV (11×11). When the TSV current terminal was energized with a device using a high resistivity silicon substrate (> 10,000 Ωcm), stable current detection was realized.

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