感度向上のため裏面電界を用いた二次元電気化学アレイセンサの研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS3-50

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Study on the two-dimensional electrochemical array sensor with using Back Surface Field to improve sensitivity

著者名: 小杉 恵太, 内田 秀和(埼玉大学)

要約(日本語): 本報告は、電気二次元化学アレイセンサに裏面電界を用いたデバイスを製作し、デバイスのフェリシアン化物イオン/フェロシアン化物イオンの濃度依存特性を測定した。従来の裏面電界がないデバイスと比較した。結果は光励起電流が0.045 μA から 2.367 μAに向上し、フェリシアン化物イオン/フェロシアン化物イオンの濃度依存特性の感度は0.0399 から 0.3859に向上した。フェリシアン化物イオン/フェロシアン化物イオンの濃度依存特性の範囲

要約(英語): In this paper, we fabricated two-dimensional electrochemical array sensor using back surface field (BSF) and investigated its ferricyanide/ferrocyanide ion concentration dependency. The result shows the photoexcitation current was increased from 0.045 μA to 2.367 μA and the sensitivity of ferricyanide/ferrocyanide ion concentration dependency was increased from 0.0399 to 0.3859. The monotonic decreasing range of ferricyanide/ferrocyanide ion concentration dependency was not improved by BSF.

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