2種類の圧電材を積層した弾性表面波デバイスの周波数特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20pm3-PS3-70

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Frequency properties of surface acoustic wave devices with bi-layered piezoelectric thin films

著者名: 力丸 真也, 北村 奏人, 村上 直, 伊藤 高廣(九州工業大学)

要約(日本語): 弾性表面波(SAW)デバイスは圧電マイクロデバイスの一種であり、圧電性の基板表面に作製したくし歯形状の電極(IDT)に高周波を入力することで、SAWの電気的な励振・検知が可能である。SAWデバイスの周波数特性は、SAWの伝搬速度およびIDTの設計に依存する。本研究では、2種類の圧電材を積層した基板上にIDTを作製することで、SAW伝搬特性の変化により、その周波数特性を制御することを試みた。

要約(英語): In this paper, we have fabricated surface acoustic wave (SAW) devices with bi-layered piezoelectric thin films. We have attempted to modify the frequency properties of the SAW devices by changing the SAW propagation speed with different film thickness of the additional piezoelectric materials.

PDFファイルサイズ: 804 Kバイト