2段電極一体化構造のイオン液体エレクトロスプレースラスタの試作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-12

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Fabrication of ionic liquid electrospray thruster with two-stage electrodes

著者名: 松本 有紀子(京都大学), 橘 郁哉(横浜国立大学), 土屋 智由(京都大学), 鷹尾 祥典(横浜国立大学)

要約(日本語): 超小型人工衛星用推進機として注目されているイオン液体型エレクトロスプレースラスタにおいて,正負イオンの抽出と加速のための2段電極構造を有し,この電極とエミッタアレイを高いアライメント精度で一体化することを目的として,その製作プロセスの開発および試作を行った。また,均一なイオンの抽出に重要なエミッタ先端の形状について,そのドライエッチング加工のばらつきを評価し,均一性向上の見通しを得た。

要約(英語): This paper reports the development of the fabrication process of ionic liquid type electrospray thruster which has a two-stage electrode structure for ion extraction and acceleration. We evaluated the variation of the shape of the emitter tips, which is very important for high power ion emission, and obtained design methodology for fabricating uniform emitter array.

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