MEMSプロセスを用いた斜め微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-13

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Fabrication of inclined micro-multi-fin structure using MEMS process and shape transfer to resin materials

著者名: 矢作 徹(山形県工業技術センター), 村山 裕紀(山形県工業技術センター), 渡部 善幸 (山形県工業技術センター), 峯田 貴(山形大学)

要約(日本語): 本研究では,MEMSプロセスを用いて,μmオーダーピッチのリッジ構造および数百nmオーダーピッチの斜め微細多段フィン構造を有する微細3次元形状を作製した。さらに作製した基板を型に用いた熱インプリントによる樹脂への形状転写を検討したところ,リッジ構造および多段フィン構造が樹脂に転写された。また繰返し成形を行っても転写性が維持されることを確認した。

要約(英語): In this paper, we have studied the fabrication processes of inclined multi-fin structure using a micro-mold structure formed with MEMS process, and shape transfer to resin materials with a thermal imprint process.

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