静電面外駆動型金ナノグレーティングに関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-14

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Study on out-of-plane electrostatically driven Au nanograting

著者名: 湖東 裕士(東京農工大学), 志村 崇(東京農工大学), 池沢 聡(東京農工大学), 岩見 健太郎(東京農工大学)

要約(日本語): 本研究は,金属メタサーフェスの一種である金ナノグレーティングを静電アクチュエータと組み合わせることによって,位相差を変調できる光位相差変調素子の開発を目指す.多層構造の下層膜である犠牲層の膜厚を最適化することで,グレーティング構造の湾曲を抑制したが,構造表面に粒状物体が発生した.スパッタリング成膜の際に基板を冷却することで,粒状物体を減らすことができた.

要約(英語): In this study, a mechanically reconfigurable Au nanograting metasurface as a retardation modulator was studied. Deflection of grating could be declined by optimization of internal stress with the adjustment of sacrificial Si layer thickness. In addition, granular objects were decreased because of the substrate cooling in atmosphere after Au deposition.

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