Auナノフィンを応用した面内駆動型光位相差変調素子の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-17

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Development of in plane motion optical modulator applied Au nano-fin

著者名: 城光寺 佑樹(東京農工大学), 岩見 健太郎(東京農工大学)

要約(日本語): 本研究はAuナノフィンを応用した位相差変調素子の開発を行った。本素子は機械的に再構成可能な両持ち梁構造である。またAu層が構造側面に成膜され、これが静電アクチュエータとなり基板面内方向に構造が駆動する。この素子は位相差の変調量180°の達成を目的とし、設計・製作および位相差測定を行った。

要約(英語): This paper presents a retardation modulation device applied with Au nano-fin. The device is a mechanically reconfigurable metasurface which consists of two double supported beam structures. Au layers were formed on the sidewalls of each structures, and they are driven in in-plane direction by electrostatic force. The device is designed to have birefringence reconfiguration range of 180 degree.

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