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金属?誘電体?金属サブ波長格子を利用した可変プラズモニックフィルタの動作検証

金属?誘電体?金属サブ波長格子を利用した可変プラズモニックフィルタの動作検証

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-18

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Operation verification of tunable plasmonic filter using metal-insulator-metal sub-wavelength grating

著者名: 平田 敦也(豊橋技術科学大学), 熊谷 隼人(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 髙橋 一浩(豊橋技術科学大学)

要約(日本語): 本研究では、MEMSアクチュエータによりMIMサブ波長格子のギャップを拡張できる可変カラーフィルタを提案した。 作製した可変MIMカラーフィルタは、従来の可変Alフィルタと比較し、長波長の光漏れを40%pt抑制した。 また、アクチュエータへの5 Vの電圧印加で、格子周期を445 nmから505 nmに拡張させることに成功し、45 nmのスペクトルシフトを実現した。

要約(英語): In this study, we proposed tunable color filter by means of gap expansion of MIM subwavelength grating by a MEMS actuator. The fabricated MIM tunable color filter suppresses light leakage by 40%pt compared to the conventional Al tunable filter. We also succeeded in extending the grating period from 445 nm to 505 nm by applying 5 V to the actuator, and realized a 45-nm spectral shift.

PDFファイルサイズ: 1,185 Kバイト

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