ワイヤレス発振式水晶振動子型薄膜用熱重量分析センサの開発
ワイヤレス発振式水晶振動子型薄膜用熱重量分析センサの開発
カテゴリ: 部門大会
論文No: 21pm1-PS3-2
グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2019/11/12
タイトル(英語): Development of wirelessly excited QCM sensor for thermogravimetric analysis to examine weight and components of thin film
著者名: 千野 輝弥(新潟大学), 丸山 耕平(新潟大学), 内木 舜也(新潟大学), 寒川 雅之(新潟大学), 安部 隆(新潟大学)
要約(日本語): 本報では,ワイヤレス発振式水晶振動子型薄膜用熱重量分析センサの開発について報告する.本センサは局所的に加熱できるという利点や,スピンコートを用いて,検出電極上に簡単に薄膜を形成できる利点を有する.本研究では,上記のセンサにおいて,質量負荷実験と薄膜の熱重量分析のデモンストレーションを行った.結果として,本センサは薄膜用小型熱重量分析センサとして用いることができることを実証した.
要約(英語): In this paper, we propose a wirelessly excited QCM sensor for thermogravimetric analysis to examine weight and components of thin film. This sensor has advantages. One is that it can be heated locally. The other is that a thin film can be easily formed on the detection electrode using a spin coat. We demonstrated mass loading experiments and thermogravimetric analysis of thin film using this sensor.
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