液体を薄膜で封止したカンチレバー構造のエナジーハーベスタの研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-24

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Cantilever-based energy harvester using liquid sealed with thin film

著者名: 望月 賢輝(東京大学), 領木 慎一(東京大学), 高松 誠一(東京大学), 伊藤 寿浩(東京大学)

PDFファイルサイズ: 555 Kバイト