スクイーズ膜圧力分布計測用センサアレイの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-25

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Development of Pressure Sensor Array for Squeeze Film Pressure Distribution Measurement

著者名: 高崎 正也(埼玉大学), 原 智大(埼玉大学), 岡本 有貴(東京大学), 三田 吉郎(東京大学), 山口 大介(埼玉大学), 石野 裕二(埼玉大学), 水野 毅(埼玉大学)

要約(日本語): これまでに,超音波振動面とわずかなギャップを持って対向する面にテーパ加工をほどこすことで,作動流体を空気としたポンプとして機能することが報告されている.この現象の理解を深めるために,ギャップ内の圧力分布の計測が計画されている.本報ではこの計測に用いる圧力センサアレイについて述べる.シリコンウエハを用いてセンサアレイを製作し,実験系を用いて構成を行った.

要約(英語): Previously, it was found that pump effect with air can be induced by combination of ultrasonically vibrating surface and opposing surface. To understand the principle, measurement of pressure distribution in the gap was planned. This paper describes the pressure sensor array for the purpose.

PDFファイルサイズ: 341 Kバイト