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シリコンマイクロ振動子光センサにおける共振周波数特性の形状依存性

シリコンマイクロ振動子光センサにおける共振周波数特性の形状依存性

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-28

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Pattern dependency of resonant frequency response of silicon microresonator for optical sensing

著者名: 竹上 航平(神戸大学), 新居 直之(神戸大学), 上杉 晃生(神戸大学), 菅野 公二(神戸大学), 磯野 吉正(神戸大学)

PDFファイルサイズ: 652 Kバイト

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