高温ひずみセンサ用Cr-Al-N薄膜

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-30

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Cr-Al-N thin films for high temperature strain sensors

著者名: 丹羽 英二(電磁材料研究所)

要約(日本語): 高温用Cr-Al-N薄膜ひずみセンサについて高温域における抵抗温度計数の挙動および抵抗安定性の要因について調べた結果,Cr-Al-N薄膜は-50～500℃の広い温度範囲で7～9のほぼ一定で大きなGfを示すこと,高温域においてもTCR=0の調整が可能であること,450℃程度までは自然形成酸化層による薄膜内部の酸化保護により抵抗変化が生じないことを確認した。450℃近傍まで使用可能な,安定で高感度なひずみセンサとして有望である。

要約(英語): Cr-Al-N thin films are expected as highly sensitive strain sensors for high temperature. It was confirmed that the films showed approximately constant and large gauge factor of 7～9 and had a function of TCR=0 adjustment and also naturally formed oxide layer suppressed the resistance change of the films in temperature range from -50℃ to 450℃.

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