多層半導体薄膜を用いたアセトンガスセンサの研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-32

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Acetone sensors using multilayered semiconductor thin-film

著者名: 木下 亮輔(東京電機大学), 亀山 隆介(東京電機大学), 山口 富治(東京電機大学), 原 和裕(東京電機大学)

要約(日本語): 呼気ガスは、疾病の有無により各成分の濃度が異なるため、呼気ガスの検出によりスクリーニング検査を行うことができ、疾病の早期発見が期待される。そこで本研究では、将来的な小型化や集積化の可能性を持ち、長期安定性に優れる多層半導体薄膜ガスセンサを用いて、呼気ガス中の低濃度のアセトンを高い感度で検出するセンサ材料の開発を目的とした。

要約(英語): Since the concentration of each component of breath gas depends on the presence or absence of a disease, a screening test can be performed by detecting the breath gas, and early detection of the disease is expected. Therefore, this research aims to develop a sensor material that can detect low-concentration acetone in breath gas with high sensitivity using a multilayer semiconductor thin film that has the potential for future miniaturization and excellent long-term stability.

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