ストライプゲート電極型半導体pHセンサによるドリフト抑制の実現

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21pm1-PS3-34

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Realization of suppression by stripe electrode type semiconductor pH sensor

著者名: 谷村 圭一(静岡大学), 上村 渓介(静岡大学), 大多 哲史(静岡大学), 平野 陽豊(静岡大学), 二川 雅登(静岡大学)

要約(日本語): 現在、農業従事者などの負担軽減のために、土壌情報のモニタリング装置が求められている。_x000D_ そこで注目されているのがISFETpHセンサである。しかし、このセンサには長期連続計測を行うと出力が減少してしまう、ドリフトと呼ばれる問題がある。我々の研究グループではこの解決のために、新センサを提案した。本実験ではこのセンサを用い、動作条件を変更して計測することにより、従来のセンサと比較して104.5倍の長期計測を実現した。

要約(英語): In long-term measurement with an ISFET type pH sensor, there is a problem called drift, in which the output decreases over time. To solve this problem, we have developed a sensor with a gate electrode inside the ion sensitive membrane. By elucidating and using this optimum use condition, it has become possible to measure pH for 104.5 times longer than conventional sensors.

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