誘電泳動集積法により作製したCNT-FETガスセンサの NO2曝露ガス応答におけるオンオフ比向上の効果
誘電泳動集積法により作製したCNT-FETガスセンサの NO2曝露ガス応答におけるオンオフ比向上の効果
カテゴリ: 部門大会
論文No: 21pm1-PS3-36
グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2019/11/12
タイトル(英語): Effect of on-off ratio improvement on gas response when NO2 is exposed to CNT-FET gas sensor fabricated by dielectrophoretic integration method
著者名: 尾崎 圭祐(九州大学), 行部 晃生(九州大学), 稲葉 優文(九州大学), 中野 道彦(九州大学), 末廣 純也(九州大学)
要約(日本語): 我々は誘電泳動集積法によりp型CNTを電極間に集積したFET型の小型センサを作製し、NO2の高感度検出を目指している。これまで、低濃度検出の場合はVDSを-1Vに設定し、しきい値電圧の変化としてNO2応答を取得していた。この際、10 ppbオーダーのNO2ガスを明瞭に検出できなかった。本研究ではVDSを変化させ、オン電流を向上した。結果、VDSが-5Vのとき、10ppbオーダーのNO2暴露によるしきい値変化が明瞭化出来た。
要約(英語): A carbon nanotube- (CNT-) FET gas sensor for detecting NO2 was fabricated by dielectrophoretic-collection. The study aimed to improve the sensitivity of the CNT-FET by optimizing drain-source voltage. The on/off ratio increased approximately nine times higher than that of the previous setting. This enabled to detect 34 ppb of NO2.
PDFファイルサイズ: 788 Kバイト
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